在光刻工艺中，有一点是众所周知的：即使是微小的温度偏差，也会导致光刻胶厚度出现偏差；而如果加热不均匀的话，那么产品的良率就会下降。我们设计了双管式红外加热灯，这样一来，就无需再担心温度控制的问题了。
从技术层面来看，关键点在于： 这种双管式短波红外灯能够快速加热，其直接耦合方式可确保在整个加工过程中，晶圆表面的温度波动控制在±0.1°C以内。石英外壳和反射器的设计有助于保持稳定的辐射强度，而洁净室级材料则可以避免颗粒的产生。该系统的输出稳定性极高，即使连续运行5,000小时以上，其强度的偏差也不到5%。此外，该系统还具备24/7连续运行的能力，不会因意外故障而停机。
为什么它在实际生产中如此有用： 在光刻胶处理过程中，这种灯能够实现极其精确的软烘和硬烘效果，从而确保关键尺寸的精准控制，同时还能有效控制边缘处的缺陷。它的响应速度很快，因此可以缩短加工时间，而不会导致温度过度升高。同样的稳定性也适用于封装过程中的干燥和固化步骤，因为在这个过程中，温度的稳定性对于控制湿度和气泡非常重要。这样就能减少废品率，确保每班次的生产质量都保持稳定。
需要注意的事项： 虽然这种灯可以安装在现有的烤箱模块和烘烤板上，但必须确保其与基板的对齐精度。哪怕是微小的偏差，都可能导致明显的温度梯度。此外，还需要为设备选择合适的电压和连接器，同时在每个处理周期结束后进行适当的冷却处理，以保持石英材料的完整性。