Trong quy trình xử lý wafer thủy tinh, không thể để xảy ra sự biến thiên về nhiệt độ. Nếu nhiệt độ trong quá trình nung không chính xác ngay cả 0,5°C, thì sẽ dẫn đến sự biến đổi về độ dày của lớp phim bảo vệ trên bề mặt wafer. Ngược lại, nếu quá trình nung không diễn ra một cách đồng đều, thì sẽ gây ra hiện tượng méo mó của các hoa văn trên bề mặt wafer. Để kiểm soát được nhiệt độ một cách chính xác, hệ thống đèn hồng ngoại là giải pháp duy nhất.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi đã thiết kế những chiếc đèn hồng ngoại bước sóng ngắn dành riêng cho việc xử lý wafer thủy tinh. Những chiếc đèn này được điều chỉnh sao cho bước sóng phát ra phù hợp với khả năng hấp thụ nhiệt thấp của vật liệu thủy tinh, đồng thời có khả năng điều chỉnh nhiệt độ một cách nhanh chóng. Trong khu vực nung, mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mỗi wafer được duy trì ở mức ±0,1°C; độ lặp lại của quá trình nung cũng được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo tính ổn định của quy trình. Thiết bị này cũng được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, với mức độ tạo ra hạt bụi bằng 0, như đã được xác nhận thông qua việc giám sát hạt bụi tại chỗ. Cường độ ánh sáng từ đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức biến thiên dưới 5%.
Lý do tại sao nó quan trọng trong quy trình in ấn Trong quy trình in ấn, điều này có nghĩa là quá trình nung wafer diễn ra một cách ổn định, giúp kiểm soát chính xác độ dày của lớp phim bảo vệ trên bề mặt wafer, từ đó giảm tỷ lệ lỗi. Quá trình nung diễn ra nhanh hơn, tiết kiệm năng lượng hơn, và giảm số lượng wafer bị lỗi. Thiết bị này cũng tương thích với các định dạng wafer tiêu chuẩn, và có thể được tích hợp vào các hệ thống hiện có, giúp duy trì quy trình sản xuất ổn định trong khi vẫn đảm bảo hiệu suất nhiệt tốt.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt yêu cầu sự căn chỉnh quang học chính xác và hệ thống quản lý nhiệt hiệu quả. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt hoặc hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng không chính xác, thì mức độ đồng đều về nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Cường độ ánh sáng từ đèn cũng phụ thuộc vào độ ổn định của hệ thống, vì vậy cần sử dụng nguồn điện ổn định. Việc calibrat thiết bị có thể mất một chút thời gian; sau đó, quá trình nung sẽ diễn ra ổn định và lặp lại được, giúp giảm thời gian ngừng máy và tránh các sự cố trong quá trình sản xuất.